LED產業用Spare Parts
Case
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材質 陶瓷
製程 ICP
Chamber Wall Liner
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材質 Metal
製程 Etch
Disk( SIC coating on surface)
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材質 Graphite
製程 MOCVD
Flow channel
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材質 Quartz
製程 MOCVD
Flow channel base
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材質 Quartz
製程 MOCVD
Plate
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材質 陶瓷
製程 ICP
Substrate holder
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材質 陶瓷
製程 ICP
Substrate(SIC coating on surface)
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材質 Graphite
製程 MOCVD
Suscepter( SIC coating on surface)
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材質 Graphite
製程 MOCVD
Tray
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材質 Quartz
製程 MOCVD
Tray
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材質 SiC
製程 ICP
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Flow channel
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材質 Quartz
製程 MOCVD
Chamber Wall Liner
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材質 Metal
製程 Etch
Ceramic Carrier
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材質 陶瓷
