LED產業用Spare Parts
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Case
額外資訊
材質 陶瓷
製程 ICP
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Chamber Wall Liner
額外資訊
材質 Metal
製程 Etch
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Disk( SIC coating on surface)
額外資訊
材質 Graphite
製程 MOCVD
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Flow channel
額外資訊
材質 Quartz
製程 MOCVD
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Flow channel base
額外資訊
材質 Quartz
製程 MOCVD
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Plate
額外資訊
材質 陶瓷
製程 ICP
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Substrate holder
額外資訊
材質 陶瓷
製程 ICP
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Substrate(SIC coating on surface)
額外資訊
材質 Graphite
製程 MOCVD
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Suscepter( SIC coating on surface)
額外資訊
材質 Graphite
製程 MOCVD
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Tray
額外資訊
材質 Quartz
製程 MOCVD
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Tray
額外資訊
材質 SiC
製程 ICP
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Insulator Bottom
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材質 陶瓷
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Ceramic Robot Blade
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材質 陶瓷
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12″ Ceramic Robot Blade
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材質 陶瓷
