Etch Spare Parts
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300 mm RTP WINDOW
額外資訊
材質 Quartz
製程 Diffusion
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Baffle Plate
額外資訊
材質 Si
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Bell Jar
額外資訊
材質 Quartz
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Chamber Wall Liner
額外資訊
材質 Metal
製程 Etch
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Coupling Ring
額外資訊
材質 Quartz
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DEPO Shield Ring
額外資訊
材質 Metal
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Electrode
額外資訊
材質 Si
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Gas injector
額外資訊
材質 Quartz
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Ground Ring
額外資訊
材質 Quartz
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Insert Ring
額外資訊
材質 Si
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Pedestal AL Flat 86
額外資訊
材質 Metal
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Quartz Baffle
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
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Quartz Baffle 改款 (可自行調整孔洞)
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
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Quartz Baffle改款
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
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Quartz Injector
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
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Quartz Injector 改款
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
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Quartz Injector 改款 (可自營調整間距)
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
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Quartz Wafer Chuck
額外資訊
材質 Quartz
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Quartz Wafer Guide
額外資訊
材質 Quartz
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Ring Clamp
額外資訊
材質 陶瓷
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Six Ring
額外資訊
材質 Quartz
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Top Ring
額外資訊
材質 Si
產品資訊
詳 細 說 明
AMT/TEL/LAM/Mattson設備之關鍵零件耗材
用 途
Oxid製程、Poly製程、Metal製程、Stripper製程
規 格
Quartz ring、Quartz Plate Si ring、Si Upper Electrode、Si Cell body