產品與服務
Products & Services

Etch Spare Parts

  • 300 mm RTP WINDOW

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Diffusion

  • Baffle Plate

    額外資訊

    材質

    Si

  • Bell Jar

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • Chamber Wall Liner

    額外資訊

    材質

    Metal

    製程

    Etch

  • Coupling Ring

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • DEPO Shield Ring

    額外資訊

    材質

    Metal

  • Electrode

    額外資訊

    材質

    Si

  • Gas injector

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • Ground Ring

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • Insert Ring

    額外資訊

    材質

    Si

  • Pedestal AL Flat 86

    額外資訊

    材質

    Metal

  • Quartz Baffle

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Etch

  • Quartz Baffle 改款 (可自行調整孔洞)

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Etch

  • Quartz Baffle改款

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Etch

  • Quartz Injector

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Etch

  • Quartz Injector 改款

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Etch

  • Quartz Injector 改款 (可自營調整間距)

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    Etch

  • Quartz Wafer Chuck

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • Quartz Wafer Guide

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • Ring Clamp

    額外資訊

    材質

    陶瓷

  • Six Ring

    額外資訊

    材質

    Quartz

  • Top Ring

    額外資訊

    材質

    Si

產品資訊

詳 細 說 明

AMT/TEL/LAM/Mattson設備之關鍵零件耗材

用   途

Oxid製程、Poly製程、Metal製程、Stripper製程

規    格

Quartz ring、Quartz Plate Si ring、Si Upper Electrode、Si Cell body

產 品 聯 絡 人
曾俊翔 Paulson Tseng
TEL : (03) 564-1224 ext.1606
Email : Paulson.tseng@tteam.com.tw