Etch Spare Parts
-
300 mm RTP WINDOW
額外資訊
材質 Quartz
製程 Diffusion
-
Baffle Plate
額外資訊
材質 Si
-
Bell Jar
額外資訊
材質 Quartz
-
Chamber Wall Liner
額外資訊
材質 Metal
製程 Etch
-
Coupling Ring
額外資訊
材質 Quartz
-
DEPO Shield Ring
額外資訊
材質 Metal
-
Electrode
額外資訊
材質 Si
-
Gas injector
額外資訊
材質 Quartz
-
Ground Ring
額外資訊
材質 Quartz
-
Insert Ring
額外資訊
材質 Si
-
Pedestal AL Flat 86
額外資訊
材質 Metal
-
Quartz Baffle
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
-
Quartz Baffle 改款 (可自行調整孔洞)
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
-
Quartz Baffle改款
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
-
Quartz Injector
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
-
Quartz Injector 改款
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
-
Quartz Injector 改款 (可自營調整間距)
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
-
Quartz Wafer Chuck
額外資訊
材質 Quartz
-
Quartz Wafer Guide
額外資訊
材質 Quartz
-
Ring Clamp
額外資訊
材質 陶瓷
-
Six Ring
額外資訊
材質 Quartz
-
Top Ring
額外資訊
材質 Si
產品資訊
詳 細 說 明
AMT/TEL/LAM/Mattson設備之關鍵零件耗材
用 途
Oxid製程、Poly製程、Metal製程、Stripper製程
規 格
Quartz ring、Quartz Plate Si ring、Si Upper Electrode、Si Cell body
