Etch Spare Parts
300 mm RTP WINDOW
額外資訊
材質 Quartz
製程 Diffusion
Baffle Plate
額外資訊
材質 Si
Bell Jar
額外資訊
材質 Quartz
Chamber Wall Liner
額外資訊
材質 Metal
製程 Etch
Coupling Ring
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材質 Quartz
DEPO Shield Ring
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材質 Metal
Electrode
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材質 Si
Gas injector
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材質 Quartz
Ground Ring
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材質 Quartz
Insert Ring
額外資訊
材質 Si
Pedestal AL Flat 86
額外資訊
材質 Metal
Quartz Baffle
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
Quartz Baffle 改款 (可自行調整孔洞)
額外資訊
材質 Quartz
製程 Etch
Quartz Baffle改款
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材質 Quartz
製程 Etch
Quartz Injector
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材質 Quartz
製程 Etch
Quartz Injector 改款
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材質 Quartz
製程 Etch
Quartz Injector 改款 (可自營調整間距)
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材質 Quartz
製程 Etch
Quartz Wafer Chuck
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材質 Quartz
Quartz Wafer Guide
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材質 Quartz
Ring Clamp
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材質 陶瓷
Six Ring
額外資訊
材質 Quartz
Top Ring
額外資訊
材質 Si
產品資訊
詳 細 說 明
AMT/TEL/LAM/Mattson設備之關鍵零件耗材
用 途
Oxid製程、Poly製程、Metal製程、Stripper製程
規 格
Quartz ring、Quartz Plate Si ring、Si Upper Electrode、Si Cell body
產 品 聯 絡 人
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