產品與服務
Products & Services

PVD Spare Parts

  • CLR Lower Shield

    額外資訊

    材質

    Metal

  • CLR Upper Shield

    額外資訊

    材質

    Metal

  • Collimator

    額外資訊

    材質

    Metal

  • Quartz Liner

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    8"EPI

  • Quartz Lower Dome

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    8"EPI

  • Quartz Upper Dome

    額外資訊

    材質

    Quartz

    製程

    8"EPI

產品資訊

詳 細 說 明

AMT/Novellus設備之關鍵零件耗材

用    途

PVD

規    格

Quartz ring、Quartz Plate O-ring、Ceramic、Silt valve door Metal Parts

產 品 聯 絡 人
曾俊翔 Paulson Tseng
TEL : (03) 564-1224 ext.1606
Email : Paulson.tseng@tteam.com.tw