說 明
代理Proterial 在台灣地區銷售 Aera MFC (氣體控制用質量流量控制器) ，並設有原廠售後服務及維修中心，可在台灣即時維修調校。
(日立金屬 ,Hitachi Metals自2023年1月起更名Proterial)
規 格
- 類比式系列Analog Series (FC-R7700/R7800系列)
- 數位式系列Digital Series (FC-DR980系列, Transformer, HG-200, HC-100)
- PI Series (PI 980系列)
- High Temperature MFC
| 規 格 | 產 品 | 說 明 |
|---|---|---|
| FC-R7700系列 |  | 使用於半導體、平面顯示器、工業電鍍、真空等產業之製程設備，具高可靠度與極佳表現。應用非腐蝕性氣體(PVD 、CVD 、蝕刻、離子植入、光學玻璃鍍膜、表面處理、以及其他鍍膜等)。 |
| FC-R7800系列 |  | 提供精準流量控制、以及超高防漏的金屬密封，可應用於大部分的氣體控制設備。且可選擇AERA特有的電子連接頭，易於快速替換原有的MFC。 |
| FC-DR980系列 已停產 可用HC100替代 |  | 包括數位MFC(氣體控制用質量流量器)、MFM(質量流量計)，具多功能、節省成本、易於使用之特點。多種類產出選項，可用類比式控制或是數位式控制。同時有單一氣體與多項氣體。 |
| Transformer系列 |  | 可應用於CVD、PVD、擴散、蝕刻等製程。具備最佳機動性以及效率性，利於良率與產量的提升、成本的下降。提供包括單一氣體與多項氣體、多重控制範圍之選項，以滿足您的需求。 |
| FC-PIR980系列 已停產 可用HG-200系列替代 |  | 提供快速回應、流量穩定度高、高精準度，以及較佳的即時製程控制。多種氣體、多重範圍的功能，可顯著降低儲備相關氣體物料之需求。且已結合D980系列之功能，使得診斷除錯、滿足更快速與簡便之需求。 |
| HG-200系列 (PI系列) |  | 新世代MFC。流量反應速度極佳，具高可靠度及再現性。具自我診斷機制。使用於半導體製程(PVD、CVD、擴散、蝕刻等) 。 |
| HC-100 系列 (non-PI系列) |  | 新世代MFC。流量反應速度極佳，具高可靠度及再現性。使用於半導體製程(PVD、CVD、擴散、蝕刻等) 。 |
