Disk( SIC coating on surface)
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| 材質 | Quartz |
|---|---|
| 製程 | MOCVD |
| 材質 | SiC |
|---|---|
| 製程 | ICP |
| 材質 | 陶瓷 |
|---|---|
| 製程 | ICP |
| 材質 | Graphite |
|---|
| 材質 | Graphite |
|---|
| 材質 | 陶瓷 |
|---|---|
| 製程 | ICP |
