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產品與服務
Products & Services

LED產業用Spare Parts

Disk( SIC coating on surface)

材質

Graphite

製程

MOCVD

Suscepter( SIC coating on surface)

材質

Graphite

製程

MOCVD

Substrate holder

材質

陶瓷

製程

ICP

Case

材質

陶瓷

製程

ICP

Plate

材質

陶瓷

製程

ICP

Tray

材質

SiC

製程

ICP

Flow channel

材質

Quartz, 陶瓷

製程

MOCVD

Substrate(SIC coating on surface)

材質

Graphite

製程

MOCVD

Flow channel base

材質

Quartz

製程

MOCVD

Tray

材質

Quartz

製程

MOCVD

Chamber Wall Liner

材質

Metal

製程

Etch

產品資訊

產品聯絡人

曾俊翔 Paulson Tseng

TEL : (03) 564-1224 ext.1606
Email : Paulson.tseng@tteam.com.tw