Etch Spare Parts

詳 細 說 明

AMT/TEL/LAM/Mattson設備之關鍵零件耗材

用   途

Oxid製程、Poly製程、Metal製程、Stripper製程

規    格

Quartz ring、Quartz Plate Si ring、Si Upper Electrode、Si Cell body

產 品 聯 絡 人